渦旋真空泵
渦旋真空泵
nXDS 35i
nXDS 46i
Edwards XDS35i 和XDS46i泵具有創新的軸承護罩設計,可將真空環境與所有形式的潤滑劑隔離開來,使之不僅完全干燥,而且完全密封。該屏蔽還能保護軸承免受任何制程蒸汽的影響。兩款泵都有耐腐蝕性版本。
XDS46i 泵是在 XDS35i 基礎上開發的產品,因此兩者具備相同的功能和優勢,但前者的峰值泵速可達 40m3/hr。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時,XDS46i 針對更大的抽速進行了優化,因此非常適合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 應用。端部密封技術的更新改進減少了端部密封的磨損,從而延長了維修干預之間的時間間隔。變換器驅動控制著電機的特性,確保泵總是以優化速度運行,并使用戶可以對泵進行遠程控制。
氣鎮允許處理蒸汽,將應用范圍拓展到以前許多不適用滾軸泵的情況。變頻器驅動裝置控制著電機特性,可確保泵總是以較高的轉速運轉。
特點
真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz
應用
清潔泵送應用
汽車
射束線和高能物理
超高速離心機
LCMS 入口
ICPMS 入口
涂層
技術規格
型號 | XDS35i | XDS46i |
抽速m3/h | 35 m3/h | 40 m3/h |
極限真空(總壓力) | 1 x 10-2 / 8 x 10-3mbar/Torr | |
較大水蒸汽進氣口壓力 | 35 mbar/23 Torr | 40 mbar/30 Torr |
水蒸汽泵送速率-GB I | 70 g/h | |
水蒸汽泵送速率-GB II | 240 g/h | |
較大允許出口壓力 | 0.2bar | |
較大允許出口壓力-GB | 0.5Bar | |
電機功率KW | 0.52 | |
轉速rpm | 1750 | |
重量 | 48 kg | |
噪音 | 57 dB(A) | |
入口法蘭 | NW40 | |
出口法蘭 | NW25 | |
震動rms | <4.5 | |
泄漏率mbar.L/s | <1 x 10-6 | |
工作溫度℃ | 10-40 |