數字式質量流量控制器-橡膠密封
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數字式質量流量控制器-橡膠密封
VIC-D200系列數字式MFC，產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號，滿足大部分氣體控制的通用需求，氣體通路為不銹鋼材質，適用于所有氣體或高壓環境。
特點
全測量區間內響應速度≤1秒
Teflon密封，對有毒及腐蝕性氣體耐久性強
沒有DISK變形，半永久使用保障
適用浪涌和過電壓的內部電路設計
維持準確度，溫度變化不敏感
技術規格
| 型號 | VIC-D210 | VIC-D220 | VIC-D230 | VIC-D240 | VIC-D245 |
| 流量范圍（N2基準） | 5sccm ~ 1.5slm | 1.5slm~50slm | 50slm~100slm | 100slm~200slm | 200slm~400slm |
| 流量控制范圍 | 2 ~ 100%滿量程 | ||||
| 精度 | ≤1%滿量程 | ||||
| 響應速度 | ≤1秒（10~100%滿量程） | ≤1.2秒 | |||
| 重復性 | ≤0.2%滿量程 | ||||
| 閥門類型 | 常閉閥 | ||||
| 密封種類 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||
| 電氣連接及信號 | 9針D-Sub公頭 模擬：0-5VDC或4-20mA 數字：RS485 | ||||
| 電源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作溫度 | 操作溫度：5-50℃（推薦15~35℃） | ||||
| 預熱時間 | 15分鐘（準確度保證：30分鐘） | ||||
| 法蘭連接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR（根據型號） | ||||
| 重量 | 0.95Kg | 0.97Kg | 1.33Kg | 1.87Kg | 3.3Kg |
產品尺寸
流量壓力事項
質量流量控制器訂購參數確認單