渦輪分子泵
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渦輪分子泵
Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承，實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動，耐沖擊能力強，可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部，拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產品。
特點
無油的超高真空環境
機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
可排稀有氣體和腐蝕性氣體
可連續排大流量氣體
可工作的壓力范圍寬。（～10-10Pa）
應用
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設施，核聚變研究
熱處理
研究開發
技術規格
型號 | TG50F | TG60F | TG70F | TG220F | TG240F | TG350F | TG450F | TG800F | TG1100F | TG1400F | TG2400 | |
法蘭 | 吸氣口ISO-R/CF | 63 | KF40/63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 | 200 | 200 | 250 |
排氣口 | KF16 | KF16 | KF16 | KF25 | KF25 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排氣速度 | N2（附加金屬過濾網） | 49L/s | 55L/s | 65L/s | 210L/s | 240L/s | 310L/s | 430L/s | 750L/s | 1000L/s | 1300L/s | 2300L/s |
H2 | 12L/s | 22L/s | 40L/s | 100L/s | 160L/s | 210L/s | 240L/s | 650L/s | 720L/s | 750L/s | 1100L/s | |
壓縮比 | N2 | 1.4×107 | 2×107 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 5×102 | 2×103 | 1×105 | 4×102 | 4×104 | 2×103 | 2×103 | 1×104 | 1×104 | 4.3×103 | 1.4×103 | |
極限壓力 | ISO-R/CF | ＜3×10-6Pa | ＜5×10-6Pa/＜1×10-6Pa | ＜5×10-7Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa | ＜1×10-6Pa |
可達氣體流量 | N2（sccm） | 80 | 20 | 20 | 400 | 70 | 500 | 500 | 330/860 | 330/860 | 450 | 900/1500 |
推薦輔助泵 | ≥50L/min | ≥25L/min | ≥25L/min | ≥80L/min | ≥80L/min | ≥80L/min | ≥80L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容許輔助壓力 | 1330Pa | 800Pa | 1200Pa | 260Pa | 700Pa | 260Pa | 260Pa | 330Pa | 330Pa | 330Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 4.2/6 | 3.4/5.4 | 3/5 | 5.5/8 | 7.3/10.5 | 6/9 | 7/10 | 27/26 | 28/27 | 29/30 | 45/47 |