<listing id="5blxb"></listing>
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機輸出可提供模擬速率和厚度信號。
傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統中平均分配以實現精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器，從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質量顯示。憑借四個繼電器輸入，SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設定點以及信號晶體失效。數字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數
特點
兩個標準測量通道，另外四個可選
模擬輸出便于記錄速率/厚度
高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數/秒
RS-232 標準接口，可選擇連接 USB 或以太網
技術規格
| 型號 | SQM160標準分辨率 | SQM160高分辨率 | |
| QCM輸入 | 2（可選4） | ||
| 測量頻率范圍 | 可調: 1.0 MHz較低 6.5 MHz較高 | ||
| 頻率分辨率 0.1s測量間隔 | ± 0.30Hz | ± 0.03Hz | |
| 厚度和速率分辨率/測量 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6赫茲，0.1秒測量間隔 | ±0.37 ? | ±0.037 ? | |
| 頻率穩定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 測量周期 | 0.10至2s（可調） | ||
| 控制 存儲膜系 模擬輸出 數字輸入/輸出 | 2個0-5V直流,速率和膜厚 2個輸入，四個繼電器輸出 | ||
| 電氣接口 | RS232標準（USB、以太網口可選） | ||
| 電源電壓 | 100-240VAC，20W | ||
| 標準 | CE，RoHS | ||
訂購資料
