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SQC-310 薄膜沉積控制器憑借技術、增強的顯示和實惠的價格，INFICON SQC-310 系列提供同類薄膜控制器更多的優勢。您可以為自己的應用選擇理想的型號：連續沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。
特點
明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本
標準 RS-232 和 USB（可選 RS-232 和以太網）
設有 “Quick Setup”（快速設定）菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕，易于設定和操作
用于開發、測試和下載過程的 Windows程序，以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序
精確的過程控制，尤其適用于低沉積速率，測量速率為每秒 10 個讀數，測量分辨率為 ±0.03 Hz
存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
使用單傳感器或多傳感器監控源材料，提供精確的源分布監控
技術規格
| 型號 | SQC310 | SQC310C | |
| QCM輸入 | 2（可選4） | 4 | |
| 測量頻率范圍 | 可調: 1.0 MHz較低 6.5 MHz較高 | ||
| 頻率分辨率 0.25s測量間隔 | ± 0.012Hz | ||
| 厚度和速率分辨率/測量 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6赫茲，0.25秒測量間隔 | ±0.015 ? | ||
| 頻率穩定性 | ± 2 ppm, 0至50℃ | ||
| 測量周期 | 0.10至1s（可調） | ||
| 速率顯示 | 0.01 ?/sec | ||
| 控制 存儲 輸出信號 數字輸入 | 0至+10VDC 5VDC-非隔離 | ||
| 設定點繼電器 | 8/8（16/16可選） | 16/16 | |
| 電氣接口 | RS232標準（USB、以太網口可選） | ||
| 電源電壓 | 100-240VAC，25W | ||
| 標準 | CE，RoHS | ||
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