Passive Gauge
Passive Gauge
Edwards新的Passive gauge真空規和控制器,專門補充目前Edwards Active真空計和控制器。這些真空計提供了一種廣泛應用的壓力測量解決方案,從超高真空系統到加工工業,或者在不可能使用Active真空計(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空規包括皮拉尼規,潘寧規和兩個Bayard-Alpert離子計和Extractor離子測量計,可以測量大氣至10-12 mbar超寬的壓力范圍。它們與被動式真空計計控制器(PGC)一起使用,顯示壓力,并為用戶提供直觀的界面,以及遠程控制的能力。Edwards將提供2個控制器,PGC201支持測量從10-9至1000 mbar的壓力范圍,連接皮拉尼和潘寧真空規;以及范圍更廣的PGC202,測量10-12至1000mbar,連接皮拉尼和離子測量計。
皮拉尼規管
PRG20K–NW16 AI
鋁制傳感器單元與鎢絲
改進的溫度補償
PRG20K–DN16CF SS
鎢絲和不銹鋼傳感器單元
耐過壓
PRG20KCR–NW16 SS
鉑絲與不銹鋼傳感器單元、陶瓷饋通件
非常適合于腐蝕性過程和水蒸氣環境
特點
測量范圍5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
鎢絲或鉑絲的選項
性價比高
0至+40℃溫度補償
恒定燈絲溫度
技術規格
型號 | PRG20K–NW16 AI | PRG20K–DN16CF SS | |
測量范圍 | 5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr) | ||
工作溫度范圍 (補償) | 0至+40℃ | ||
較大環境溫度 | 80℃ | ||
燈絲 | 鎢絲 | ||
燈絲溫度 | 110℃ | ||
較大耐壓 | 3bar | 10bar | |
體積 | 約11cm3 | ||
法蘭 | NW16 | CF16 | |
接觸材質 | 鋁,Vacon、玻璃、 鎢,CrNi 8020鍍鎳 鋼鐵、環氧膠粘劑 | 不銹鋼,Vacon, 鎢,CrNi 8020陶瓷, 氧化鋁、鎳鐵42 | |
兼容的控制器 | PGC201/PGC202 |
潘寧規管
CPG35K-NW25
CPG35K-NW40
CPG35K-DN40CF
CPG35KB-DN40CF
特點
堅固耐用
對暴露大氣和振動環境不敏感
易于拆卸和清洗
可更換的陰極板
優化的陰極點火特性
技術規格
型號 | CPG35K | CPG35KB |
測量范圍 | 1 x 10-9 至 10-2mbar ( 0.75 x 10-9 至 10-2 Torr) | |
高壓電源(陽極電位) 觸發電壓 操作電壓 | 3.3Kv 1.6Kv | |
存儲溫度 | -25℃ 至 +80℃ | |
額定工作溫度 | 0至+80℃ | |
烘烤溫度(法蘭處) | 200℃ | |
較大耐壓 | 6bar | |
體積 | 約21cm3 | |
接觸材質 | 不銹鋼、鎳鉻合金、 陶瓷、鈦 | |
法蘭 | NW25/NW40/CF40 | CF40 |
兼容控制器 | PGC201 |
離子規
IG40 BA
測量范圍從10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr)
焊接防護罩
IG40 EX
測量范圍從10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr)
X射線和離子脫附效應的顯著降低
特點
Bayard-Alpert和Extractor離子計中的可更換燈絲
高精度的測量由于單獨校準的傳感系統
技術規格
型號 | IG40BA | IG40EX |
測量范圍 | 10-2至2 x 10-11 mbar (1.5 x 10-11 Torr) | 10-4至2 x 10-12 mbar (1.5 x 10-12 Torr) |
X射線極限 | ≤10-11Torr | ≤10-12Torr |
運行環境溫度 | +20至+80℃ | |
較大烘烤法蘭溫度 帶測量電纜 | 250℃ | |
較大烘烤溫度 未連接 | 400℃ | |
接觸材質 | 氧化釔銥涂層 Pt/Ir 90/10 Mo/ Pt繞絲 鎢 | 氧化釔銥涂層 Mo和CoNiCr 鎢 鎳鐵 |
操作特征 離子探測器電位 陰極電位 陽極電位 反射器電位 | 0 80 220 | 0 100 220 205 |
法蘭 | CF40 | |
發射電流 | 0.1至10mA | 1.6mA |
熱陰極的加熱電流 | 1.5A | 1.5A |
熱陰極的加熱電壓 | 3V | 3.7V |
靈敏度N2 | 17/mbar | 6.25/mbar |
烘烤操作,電子轟擊(V/mA) | 480/90 | 480/45 |
兼容的控制器 | PGC202 |
PGC真空計控制器
PGC201皮拉尼規和潘寧規控制器
PGC202皮拉尼規和離子計控制器
Edwards PGC201控制器提供從10-9和1000mbar之間的壓力范圍測量,結合兩個測量原理從PRG和CPG真空規。PGC202結合了PRG真空規和IG40 BA或IG40 EX離子計,用于測量10-12 mbar至1000 mbar范圍內的真空度。兩個控制器都需要連接的規管提供測量和控制功能。
特點
緊湊的3通道操作單元,用于連接Passive gauge測量真空范圍
PGC201:10-9到1000mbar
PGC202:10-12至1000mbar
皮拉尼規管和潘寧規管(PGC201);皮拉尼和UHV、BA離子計(PGC202)自動切換
測量線纜支持50M
每通道兩個設定點繼電器
對數圖表記錄器輸出0- 10v或2- 10v
寬范圍電源供應100 - 240伏
壓力單位可在mbar, Torr和Pascal之間選擇
結構緊湊、堅固耐用的Penning (CPG)傳感器,對高壓操作不敏感
校準和溫度補償的Pirani (PRG)傳感器
性價比高的傳感器和燈絲更換組件
每個通道的錯誤信息反饋,例如在燈絲斷裂、傳感器線路故障或等離子放電故障的情況
緊湊的金屬臺式外殼
易于操作的界面
RS232接口
CE標志
RoHS認證
應用
高真空泵系統的通用真空測量: 渦輪分子泵、擴散泵、低溫泵、離子泵系統等。
退火、熔化、釬焊和硬化爐
涂層系統
分析儀器
熱輻射和脫氣環境
粒子加速器
技術規格
型號 | PGC201 | PGC202 |
測量通道 | 3 | |
測量范圍 1、2通道 3通道 | 5 x 10-4至1000 mbar (3.5 x 10-4至750 Torr) | |
10-9到1000mbar | IG40BA:2 x 10-11 mbar IG40EX:2 x 10-12 mbar | |
準確性 PRG CPG IG40BA/IG40EX | ≤實測值的20% ≤實測值的±30% ≤實測值的±2% | |
較長線纜 | 50米 | |
顯示 | 數字顯示,7段LED, 4位尾數和2位指數 | |
氣體類型 | 系數可調 | |
設定點繼電器 | 每通道2個,間隔觸發 | |
可調開關閥值 PRG CPG IG40BA IG40EX | 5 x 10-3 至 500mbar 1 x 10-8 至9.9 x 10-3mbar 1 x 10-8 至 5 x 10-3mbar 1 x 10-11mbar | |
繼電器切換滯后 | 10%的觸發值(默認值), 可自由調節PRG和CPG | 10%的觸發值(默認值),可自由調節 PRG和IG40 BA或EX |
繼電器觸點額定負載 | a.c./d.c., max. 30 V/1 A | |
Chart recorder output (default) PRG | 0到10v, log。線性劃分:3個數量級, 如果出現故障,請按10.5伏, 對數的:(1 x 10-3毫巴),1.67 V/ 數量級 | |
CPG | 對數的:(1 x 10-9毫巴),1.43 V/ 數量級 | |
IG40BA/EX | 對數的:(1 x 10-12毫巴),1.00 V/數量級 | |
遠程接口 | RS232/RS485 | |
電源要求 | 100-240VAC | |
功率 | <10W | <60W |
存儲溫度 | -20至+60℃ | |
工作溫度 | +5至+50℃ | |
較大濕度 | %80 | |
重量 | 1.4Kg | |
尺寸 | 106.4x128.4x174.5mm | 106.4x128.4x184.5mm |
深度 | 220mm | |
防護等級 | IP40 |