冷陰極皮拉尼復合真空計
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冷陰極皮拉尼復合真空計
INFICON反磁控管皮拉尼復合真空計，MPG400 和 MPG401，測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力（3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力）。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中，顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。
特點
復合真空計 – 冷陰極和皮拉尼
5 X 10-9 mbar 至大氣壓寬廣的測量范圍
倒磁控管沒有燈絲，不會出現絲極燒毀的現象
卓越的點火屬性
易清洗
FPM 或金屬密封饋入裝置
LED 指示器，高壓時亮起
對數模擬輸出信號
應用
高真空壓力測量
蒸發與濺射鍍膜系統
全真空范圍內的一般真空測量和控制
技術規格
| 型號 密封 | MPG400 FPM密封 | MPG401 金屬密封 | |
| 測量范圍 | 5 × 10E-9至1000 mabr | ||
| 精度（N2） 10E-8至100 mbar | ≈±30%讀數 | ||
| 重復性 | ≈±5%讀數 | ||
| 輸出信號（電壓） | 0至+10.5V | ||
| 電源電壓 功率 | +15至+30Vdc ≤2 W | ||
| 電氣連接件 | FCC 68/RJ45網口，8腳屏蔽 | ||
| 工作溫度 | +5至+55℃ | ||
| 安裝方位 | 任何 | ||
| 防護等級 | IP40 | ||
訂購資料
| 型號 密封 | MPG400 FPM密封 | MPG401 金屬密封 |
| KF25 | 351-010 | 351-020 |
| KF40 | 351-011 | 351-021 |
| CF40 | 351-012 | 351-022 |