MG15真空計控制器
MG15真空計控制器
MG15能夠支持4個Active真空計和3個Passive真空規管,將測量范圍擴展到2x10-12mbar。MG15可以完全由軟件控制,通過一個可用的接口進行遠程控制。MG15還支持離子電流(Flux Monitor)的測量及顯示,單位是[nA],相關的所有設定值和模擬輸出也會同步為[nA]單位。
特點
測量范圍從大氣壓到2x 10-12毫巴
壓力圖
壓力趨勢圖
測量濾波(low, med, hi)
控制幾乎所有商用的Bayard-Alpert離子計
有時間和功率限制的Bayard-Alpert脫氣
支持Ir/ W /Thoria燈絲
Bayard-Alpert超壓保護
可選擇的測量單位:mbar, Torr, Pascal, Psia
氣體特定修正與一個定制設置
單元超溫保護
10個單獨可編程的設定點,設定閾值和滯后功能
用戶定義的通道名稱
主動測量真空計的自我識別
顯示離子束流
應用
任何高真空和超高真空系統
極限壓力測量(從大氣到超高壓范圍)
可烘烤和不可烘烤系統
MBE離子束流規控制
技術規格
測量通道 | 7通道(Active真空計:4個; Passive真空規:3個-訂購時定義的數量) |
顯示范圍 | 2 x 10-12 mbar 至2 x 10+5 mbar |
測量范圍 Active真空計 Passive真空規 *與連接量規有關 | 5 x 10-10 mbar 2 x 10-12 mbar |
其他測量* (Flux Monitor) | 離子束流(束流規應用) |
發射電流 | 0.05mA至10mA |
設定點(每個通道的單獨編程) | 10個(4個NC/NO;6個NO) |
支持的Active真空計 | Inficon,Leybold,Pfeiffer,MKS,ATMION真空計等 |
支持的Passive真空計 | IE414, IE514, UHV-24, UHV-24p, GP274系列, SRS,ETI等 |
繼電器輸出帶有配置激活信號 | 4個(發射電流,除氣) |
數字輸入 | 4 |
模擬輸出 | 4(0-10V) |
通訊協議 | Modbus |
通訊接口 | RS232/485/422, Ethernet,Profinet-可選(訂購時注明) |
用戶界面 | 7寸TFT顯示及觸摸控制 |
電源 | 100-240VAC,50/60Hz,max 200W |
尺寸 | 212.6*128.4*260.3 mm |
重量 | 3.8Kg |
*允許顯示無源儀表的離子電流,而不是真空測量。電流用[nA]表示,相關的所有設定值和模擬輸出也用[nA]表示。