冷陰極電離真空規
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冷陰極電離真空規
INFICON被動冷陰極測量儀MAG470，測量范圍為5 × 10 -11mbar到1 × 10 -2mbar
(3.8 × 10 -11 Torr to 7.5 × 10 -3 Torr).優勢
· 沒有燒壞的燈絲
· 加長版，傳感器輸出溫度可達250°C
· 優異的點火性能
· 易清洗
· 金屬密封通道
· LED高電壓指示燈
· 對數模擬輸出信號
應用
· 超高真空壓力監測
· 蒸發和濺射系統的基本壓力
· 中高真空范圍內的通用真空測量與控制
訂貨信息
類型 | MAG470 | MAG470擴展 |
|---|---|---|
| DN 40 CF-F | 399-360 | 399-361 |
| 備件 | MAG470 | MAG470擴展 |
|---|---|---|
維修工具包包括： 支撐/定心環密封點 助燃劑 | 351-997 | 351-997 |
| 修理工具包括： 陽極 銅密封 螺紋接頭 支撐/定心環 密封點 助燃劑 | 351-990 | 351-990 |
| 點火輔助套件包括： 助燃劑 | 351-995 | 351-995 |
| 點火輔助裝置的安裝工具 | 351-994 | 351-994 |
| 附件 | MAG470 | MAG470擴展 |
|---|---|---|
| 磁屏蔽 | 351-023 | 351-023 |
規格
MAG470 MAG470擴展 | ||
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣，氮氣) | mbar (Torr) | 5 × 10 -11 … 1 × 10 -2 (3.8 × 10 -11 … 7.5 × 10 -3) |
| 精度(N2)1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±30% |
| 重復性1×10 -9…1×10 -3mbar | % | ≈±5% |
| 安裝方位 | 不限 | |
| 容許壓力 | Bar（絕對） | ≤10（限于惰性氣體） |
| 容許溫度 操作（環境） 儲存 輸出 | °C °C °C | +5 … +55 –40 … +65 2501)(擴展版 2) |
| 電源電壓 標準 較大供電量 3 電壓頻率 | V (dc) V (dc) Vpp | +15…+30 +16…+30 ≤1 |
| 耗電量 | W | ≤2 |
| 保險絲連接 | AT | ≤1 |
| 輸出信號（測量信號） 電壓范圍 測量范圍 | V V | 0…+10.5 +1.96…+8.6 |
| 相對壓力 誤差 | V | 對數, 0.8 V/decade <0.5 (無供應) |
| 輸出電阻 較小負載電阻 | Ω KΩ | 2 × 10 10、防短路 |
| 響應時間 p>10-6mbar p=10-8mbar | MS MS | <10 ≈1000 |
| 識別量規 | KΩ | 7.15，供參考使用 |
| 電氣連接 傳感器電纜 電纜長度 | M | FCC 68電器連接器，8極，內螺紋 8極加屏蔽 ≤50(8×0.14mm2) |
| 工作電壓 工作電流 | kV μA | ≤3.3 ≤100 |
| 暴露于真空中的材料 | 不銹鋼，氧化鋁，銀， | |
| 內部容積 | cm 3 | ≈20 |
| 重量 DN 40 CF-F | g | ≈950≈1100 |
| 保護類別 | IP 40 | |
| 標準 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 |
1）無電子和磁屏蔽
2）規定區域內250°C，見尺寸
3）電源單元的較小電壓必須與傳感器電纜的長度成比例地增加
尺寸資料
