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            成都四洋科技有限公司官方網站

            Hicube泵組

            Hicube 系列移動式真空泵組在業界設立了新的標準:新系列的HiPace渦輪分子泵和根據客戶應用需求可選的前級泵系列完美結合。  Hicube 真空泵組系列主要分為Hicube ECO(經濟型)、Hicube Classic、Hicube Pro三種真空泵組。真空泵組可選擇干泵或旋片泵作為前級泵,極限真空度可達 5 * 10-10mbar。針對特別有限的空間要求,Hicube 真空泵組中還特別提供尺寸非常緊湊的 HicubeEco經濟型泵組,其抽速范圍從 35 l/s 至 67 l/s。

            根據HiPace 渦輪分子泵選擇的不同,HiCube真空泵組還可以分為HiCube 80真空泵組系列、HiCube 300真空泵組系列、HiCube 400真空泵組系列、HiCube 700真空泵組系列。

            特點

            渦輪分子泵和前級泵的優秀結合;適合多種應用需求;

            模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求;各部件配合簡便,易于保養維修;

            集成的驅動系統,無需額外的控制系統;“即插即用”-無需布線和安裝;

            意外斷電時,前級真空安全閥(可選.)可保護真空腔體免受返流影響;

            可以直接連接真空計

            應用

            研發

            加速器

            分析和表面物理學

            真空工藝技術

            一般真空應用

            技術規格

            參數

            型號

            連接法蘭

            抽速L/S

            極限真空mbar

            前級泵抽速m3/h

            入口

            N2

            Hicube 80 Eco

            KF40

            35

            10-7

            15L/min

            Hicube 80 Eco

            ISO-K 63

            67

            10-7

            15/min

            Hicube 80 Eco

            CF63

            67

            10-7

            15L/min

            Hicube Classic

            法蘭連接

            抽速L/S

            極限真空mbar

            前級泵抽速m3/h

            入口

            N2

            MVP040

            MVP070

            DUO 3

            DUO5M

            MVP040

            MVP070

            DUO 3

            DUO5M

            Hicube 80 Classic

            KF40

            35

            10-7

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 80 Classic

            ISO-K 63

            67

            10-8

            10-8

            5*10-10

            5*10-10

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 80 Classic

            CF63

            67

            10-7

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 300 Classic

            ISO-K100

            260

            10-7

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 300 Classic

            CF100

            260

            10-8

            10-8

            5*10-10

            5*10-10

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 400 Classic

            ISO-K100

            355

            10-7

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 400 Classic

            CF100

            355

            10-8

            10-8

            5*10-10

            5*10-10

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 700 Classic

            ISO-K160

            685

            10-7

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube 700 Classic

            CF160

            685

            10-8

            10-8

            5*10-10

            5*10-10

            2.3

            3.8

            2.9

            5

            Hicube Pro

            法蘭連接

            抽速L/S

            極限真空mbar

            前級泵抽速m3/h

            入口

            N2

            ACP

            Duo

            Pascal

            ACP

            Duo

            Pascal

            Hicube 80 Pro

            KF40

            35

            10-7

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 80 Pro

            ISO-K 63

            67

            10-7

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 80 Pro

            CF63

            67

            5*10-10

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 300 Pro

            ISO-K100

            260

            10-7

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 300 Pro

            CF100

            260

            5*10-10

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 400 Pro

            ISO-K100

            355

            10-7

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 400 Pro

            CF100

            355

            5*10-10

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 700 Pro

            ISO-K160

            685

            10-7

            14/27

            9/20

            9/18

            Hicube 700 Pro

            CF160

            685

            5*10-10

            14/27

            9/20

            9/18

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