GMC1200流量/壓力控制器
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GMC1200流量/壓力控制器
GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩定的電壓設置點(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計代替MFC對壓力進行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項,則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動控制想要的壓力,同時壓力也可以顯示。
通過微處理器進行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進行“PC控制”操作。
特點
采用高速微處理器。
使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制
容易辨認的LCD顯示。
流量或壓力的單位，用戶可以直接設置。
2、4、6、8通道可選。
您可以通過連接電容壓力計測定壓力。
每個頻道的流量都可以控制。
總流量累計功能
使用MFC與電容壓力計,可選上游壓力控制
技術規格
| 尺寸 | 寬*長*高 241mm*88mm*200mm |
| 電氣特性 | |
| 輸入功率 | 195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA 默認 98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選 |
| 熔斷器額定值 | 250 VAC @3 A |
| 輸出功率 | +/-15VDC ±5% @2.7A |
| 工作溫度 | 0 ~ 50°c |
| 輸入信號 | 0 ~ 5VDC for MFC 0 ~ 10VDC for 電容式壓力計 |
| 輸出信號 | 0 ~ 5VDC for MFC 指令 |
| 顯示窗口 | 128*64 LCD顯示器 |
| 顯示單位 | sccm, slm表示MFC, Torr表示CM |
| 接口 | RS - 232、TTL接口 |
MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體，用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。
特點
設計用于半導體制程和工業使用
滿量程流量從5sccm至200slm
1%滿量程的精度
可搭配GMC1200儀表顯示，也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統
技術規格
流量范圍（滿量程） | AFC500/AFC600：5sccm至50slm AFC770：51至200slm |
進氣壓力高可達 | 150psig |
正常工作壓差（與在大氣壓，MFC出口） 10至5000sccm 10000至20000sccm AFC770 | 10至40 psid 15至40psid 40至70psid |
精度（模擬量） (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性) | ±1%滿量程 |
重復性 | ±0.2%滿量程 |
分辨率 | 1%滿量程 |
溫度系數 零點 跨度 | <0.05 % 滿量程./°C <0.05 % 滿量程. |
預熱時間（達到穩態性能的0.2%以內） | ＜2分鐘 |
控制器調節時間 | ＜2sec |
壓力系數 | <0.02 % of Rdg./psi |
工作溫度范圍 | 0-50℃ |
電源 | ±15 VDC (±5%) |
設定值命令信號 | 0-5Vdc |
輸出信號 | 0-5Vdc |
法蘭 | VCR, LOK |
接口 | 9針D-sub |
材料 | 316L，密封Viton（AFC600：Kalrez） |
外部泄漏完整性(scc/sec He) 通過關閉閥門 | < 1×10（-9） <1.0%的F.S.，在40 psig的大氣入口（為確保無流量通過，建議使用單獨的正壓切斷閥。） |