CDG160D加熱型電容膜片真空計

INFICON SKY CDG160D,CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D真空計溫度控制在 160 °C，CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質優秀，極具成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。