高精度電容薄膜真空計
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高精度電容薄膜真空計
INFICON CDG025D電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高EMC兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力。
特點
滿量程范圍從0.1乇至1000乇
通電后快速穩定性
暴露大氣壓的快速恢復性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
優秀的長期信號穩定性
溫度補償
傳感器有防污染保護
一鍵調零功能
寬范圍電源
兩個設點 (可選)
RS232 接口 (可選)
應用
半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數據存儲和OLED,LCD制造設備
工業真空設備
混氣實驗設備
一般高精度壓力測量
技術規格（基于Torr的標準產品）
| 滿量程范圍（Torr） | 1000 | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
| 精度 （ 在25°C環境工作溫度下運行兩小時后無非線性,滯后性,再現性的溫度效應） | 0.2%讀數 | 0.5%讀數 | ||||
| 溫度效應 在零點 在滿量程 | 0.005%滿量程/℃ 0.01%讀數/℃ | 0.015%滿量程/℃ 0.01%讀數/℃ | 0.02%滿量程/℃ 0.02讀數/℃ | |||
| 分辨率 | 0.003%滿量程 | |||||
| 較大壓強（絕對壓力） | 400Kpa | 260Kpa | 130Kpa | |||
| 響應時間 | 30ms | 130ms | ||||
| 較低壓強讀值 | 0.01%滿量程 | |||||
| 較低建議壓強 | 0.05%滿量程 | |||||
| 較低建議控制 壓強（排氣節流閥聯控時） | 0.5%滿量程 | |||||
| 電源電壓 功率 | +14至+30Vdc ≤1 W | |||||
| 輸出信號 | 0至+10V模擬量 | |||||
| 電氣連接件 | D-sub 15針 | |||||
| 工作溫度 | +5至+50℃ | |||||
| 烘烤溫度 | ≤110℃法蘭處（未運行） | |||||
| 安裝方位 | 垂直 水平（要求） | |||||
| 防護等級 | IP30 | |||||
1.其它滿量程請咨詢
2.設定點繼電器,RS232C僅CDG025D-S
訂購資料
CDG025D,溫度補償型
| 滿量程范圍 | 1/2"英寸管 | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8VCR |
| 1000Torr | 375-000 | 375-001 | 375-002 | 375-003 |
| 100Torr | 376-000 | 376-001 | 376-002 | 376-003 |
| 10Torr | 377-000 | 377-001 | 377-002 | 377-003 |
| 1Torr | 378-000 | 378-001 | 378-002 | 378-003 |
| 0.1Torrr | 379-000 | 379-001 | 379-002 | 379-003 |
CDG025D-S,2個設定點,RS232接口,溫度補償型
| 滿量程范圍 | 1/2"英寸管 | DN 16 ISO-KF | DN 16 CF-R | 8VCR | ||
| 1000Torr | 133KPa | 1333mbar | 375-300 | 375-301 | 375-302 | 375-303 |
| 110Kpa | 1100mbar | 375-500 | 375-501 | 375-502 | 375-503 | |
| 200Torr | 26.6Kpa | 267mbar | 382-300 | 382-301 | 382-302 | 382-303 |
| 100Torr | 13Kpa | 133mbar | 376-300 | 376-301 | 376-302 | 376-303 |
| 10Kpa | 100mbar | 376-500 | 376-501 | 376-502 | 376-503 | |
| 20Torr | 2.66Kpa | 26.7mbar | 383-300 | 383-301 | 383-302 | 383-303 |
| 10Torr | 1.3Kpa | 13mbar | 377-300 | 377-301 | 377-302 | 377-303 |
| 1Kpa | 10mbar | 377-500 | 377-501 | 377-502 | 377-503 | |
| 1Torr | 133Pa | 1.3mbar | 378-300 | 378-301 | 378-302 | 378-303 |
| 100Pa | 1mbar | 378-500 | 378-501 | 378-502 | 378-503 | |
| 0.25Torr | 33.3Pa | 0.33mbar | 385-300 | 385-301 | 385-302 | 385-303 |
| 0.1Torrr | 13.3Pa | 0.13mbar | 379-300 | 379-301 | 379-302 | 379-303 |
| 10Pa | 0.1mbar | 379-500 | 379-501 | 379-502 | 379-503 | |