低壓式大流量質量流量控制器
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低壓式大流量質量流量控制器
CAF-150質量流量控制器，體積緊湊，可以低壓下控制大流量，產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號，滿足大部分氣體控制的通用需求。
特點
體積緊湊，便于安裝
可以低壓下控制大流量，流量范圍從100L/min到3000L/min
直洞式設計，響應速度更快
自帶過濾器適用于潔凈制程
比例活塞閥及薄膜閥，耐久性強
技術規格
| 型號 | CAF-145 | CAF-150 | CAF-155 | ||
| 流量范圍（N2基準） | 100slm~500slm | 500slm~2000slm | 2000slm~3000slm | ||
| 流量控制范圍 | 2 ~ 100%滿量程 | ||||
| 精度 | ≤±2%滿量程 | ≤±2.5%滿量程 | |||
| 響應速度 | ≤1.2秒 | ≤1.8秒 | |||
| 重復性 | ≤0.2%滿量程 | ||||
| 閥門類型 | 常閉閥 | ||||
| 密封種類 | Vtion，Vtion-ETP，Kalrez等等 | ||||
| 電氣連接及信號 | 9針D-Sub公頭 模擬：0-5VDC或4-20mA 數字：RS485 | ||||
| 電源 | +15VDC~+24VDC | ||||
| 操作溫度 | 操作溫度：5-50℃（推薦15~35℃） | ||||
| 預熱時間 | 15分鐘（準確度保證：30分鐘） | ||||
| 法蘭連接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR（根據型號） | ||||
| 重量 | 7Kg | 10Kg | 14Kg | ||
產品尺寸
質量流量控制器訂購參數確認單