AIGX離子真空計
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AIGX離子真空計
Edwards AIGX緊湊型離子真空計配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計具備行業標準的有源壓力測量概念的大部分優勢，同時集成了電子器件和可更換的管件。
AIGX離子真空計擁有脫氣裝置，而且具備保護和延長燈絲使用壽命的功能。得益于很低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程優秀的選擇。
特點
寬范圍測量功能，可達 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
有兩種款型可用，每一種又有三種真空聯軸器變型：
“D”型具有 9 針“D”接頭盒標準接口；
“S”型具有增強的功能，與 Edwards 的各種控制器兼容。
與主要競爭對手相比，帶電粒子制程污染減少了 30%。
自動防止在大氣條件下啟動燈絲以及在高壓下運行或脫氣。
在整個測量范圍內真空計靈敏度始終保持穩定，從而可以在更高壓力下保持輸出精度。
在脫氣過程中可以連續進行壓力測量輸出。
創新性設計消除了 X 射線限制的影響。
雙色 LED 提供真空計狀態的本地指示。
輸入電壓范圍寬。
電子器件極易拆卸以進行高達 200 °C 的加熱。
“S”型提供有無縫的自動發射電流切換，延長了燈絲壽命。
“S”型提供有診斷輸出，指示“發射關閉”、“燈絲燒壞”和“過壓跳閘”，以幫助進行故障排除。
“S”型提供有一個可以用按鈕調整的設定點。
應用
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
Edwards AIGX緊湊型離子真空計配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲，測量范圍極廣，從 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards 的新型 AIGX 真空計具備行業標準的有源壓力測量概念的大部分優勢，同時集成了電子器件和可更換的管件。該真空計擁有脫氣裝置，而且具備保護和延長燈絲使用壽命的功能。得益于非常低的帶電微粒輻射，AIGX 成為不能有背景噪聲的制程優秀的選擇。
技術規格
壓力范圍 | 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar |
（5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr） | |
電源供給 | +14.5 至 +30.0 V 直流 |
功耗 | 正常工作：7W， |
脫氣：14W | |
輸出信號 | 線性，1 V / decade |
響應時間 | 1.33 x 10-8 mbar |
(>10-8 Torr) ? 100 ms | |
1.33 x 10-8 mbar | |
(<10-8 Torr) ? 1-2 s | |
較大電壓 | 30 V（直流） |
較大電流 | 100 mA |
工作環境 | 干燥的非導電性大氣 |
溫度范圍 | |
工作溫度 | 0 至 +40 °C |
存儲溫度 | -30 至 +70 °C |