61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現設定壓力。

該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持完全正常運行。

61.3 系列已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其卓越的可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列在各個方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。