4、分子泵軸承為什么會燒毀

原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵

解決方法：①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵

5、有防護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內？

原因：防護網破裂，前級管道破裂

解決方法：優化系統設計

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？

原因：油池破裂或密封不良

解決方法：檢查油池

7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現裂紋或者變形

原因：過熱、負載大

解決措施：檢查冷卻系，檢查系統

8、分子泵中經常掉出頂絲、螺釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

原因：應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

解決方式：應是偶爾發生的事情，可能隨時平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

答：不作特殊限定，至少3個，按照法蘭大小可選3、6、12、24等

10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？

答：①電壓不穩②強干擾③高壓打火④人為解密

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要專用儀器和特定的測試環境

12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現何后果？

答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機，碎泵、油變黑等。

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是較佳的方式？

答：電源本身有接地線，只需要保證市網有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。