倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計
MPG55x / MAG55x
倒置磁控管/倒置磁控管皮拉尼真空計
MPG55x / MAG55x
INFICON 倒置磁控管真空計是所有真空測量應用的動力源泉。 MPG50x將兩項傳感器技術整合在一個小裝置中,測量范圍從大氣壓至1 × 10-9毫巴;而 MAG50x是一個純冷陰極傳感器系統(不含皮拉尼元件),測量范圍從1 × 10-2毫巴至1 × 10-9毫巴。超 低雜散磁場設計為全新的應用領域開啟了大門??苫Q式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護,使其成為同類產品中堅固耐用的經濟型真空計。
MAG和MPG Gemini現在提供EtherCAT現場總線和設定點MAG55x和MPG55x。
優勢
在惡劣環境下,使用壽命長
可靠的快速點火
低雜散磁場
可選測量電流
快速維護 — 可更換電離室
耐腐蝕饋入裝置和傳感器元件
EtherCAT和RS232/RS485數字接口
緊湊尺寸,易于集成
2個繼電器設定點(MxG55x)
應用范圍
基礎壓力監測和控制,在蒸發和濺射鍍膜應用中,測量范圍從大氣壓到高真空。
一般真空測量 — 工業爐、建筑玻璃、半導體、生產實驗室。
分析和研發應用 — 質譜分析、電子顯微鏡、眼科、光學、醫療和高能物理。
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