真空設備如何選用真空泵
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真空設備如何選用真空泵
真空設備產品可分為五大類：
（1）真空獲得設備：產生、改善或維持真空的裝置。包括各種獲得粗、低、中、高及超高的真空泵和真空機組。
A、機械真空泵：旋片泵、往復泵、滑閥泵、羅茨泵、分子泵和液環泵等。
B、蒸汽流真空泵：水蒸汽噴射泵、油增壓泵和油擴散泵等。
C、氣體捕集真空泵：鈦濺射離子泵、低溫泵、分子篩吸附泵和鋯鋁吸氣泵等。
D、真空機組：即由產生真空、測量真空和控制真空等組件組成的各類機組。
（2）真空應用設備：在真空環境下（低于一個大氣壓的氣體狀態），應用的各種設備
A、真空鍍膜機：蒸發鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、離子鍍膜機和等離子化學沉積裝置等。
B、真空冶煉爐：電阻爐、電子束爐、電弧爐、感應爐和單晶爐等。
C、真空熱處理爐：淬火爐、回火爐、退火爐、滲氮爐和滲金屬爐等。
D、其它真空設備：冷凍干燥設備、蒸餾設備、提純設備、浸漬設備、果蔬保險設備、運輸設備、空間模擬設備、包裝機和鋼水脫氣裝置等。
（3）真空測量儀器：測量低于一個大氣壓的氣體和蒸汽壓力的儀器。
A、低真空計（測量范圍105--102Pa）
B、中真空計（測量范圍l02一l0-1Pa）
C、高真空計（測量范圍l0-1一10-5Pa）
D、超高真空計（測量范圍< 10-5Pa）
（4）真空檢漏儀：檢測真空系統或元件漏孔的位置或漏率的儀器。包括高頻火花檢漏儀、鹵素檢漏儀和氦質譜檢漏儀等。
（5）真空閥門：在真空系統中，用于調節流量、切斷或接通管路的元件。包括插板閥、擋板閥、電磁閥、電磁帶放氣閥、隔膜閥和調節閥等。
為能夠更好的選擇并使用真空泵，需要注意以下幾點：
1、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若是工藝過程不支持，應選擇無振動的泵或者采取防振動的一系列措施。
2、了解被抽氣體成分，氣體中有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵的時候需要知道氣體成分，針對被抽氣體時需要選擇相應的泵。若是氣體中含有蒸汽、顆粒以及腐蝕性的氣體，需要考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備。
3、真空泵在其工作壓強下，可以排走真空設備工藝過程中產生的全部的氣體量。
4、正確地組合真空泵。有的時候選用一種泵滿足抽氣要求由于真空泵有選擇性抽氣，需要幾種泵組合相互補充才能滿足抽氣的要求。如果鈦升華泵對氫有很高的抽速，但是不能進行抽氦，而三極型濺射離子泵，對氬有一定的抽速兩組合起來，則會使真空裝置得到相應多的真空度。
5、真空設備對油污染的要求。若設備明確要求無油時，應該選用各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染的措施。
6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內比較合適，而不能讓它坐在25~30mmHg下長期的工作。
7、真空泵排出的油蒸汽對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選擇無油性真空泵，或者把油蒸汽排出室外。
8、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強的要求。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
9、還需考慮真空泵的價格、運轉及維修費用，結合實際情況選擇性價比高的真空泵。
來源：PVD鍍膜