電容膜片真空計
帶EtherCAT的Edge CDG025D2
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電容膜片真空計
帶EtherCAT的Edge CDG025D2
INFICON帶EtherCAT的溫度補償型Edge CDG025D2電容膜片真空計是專為惡劣制造環境設計的高精度真空測量儀器。
成熟的溫度補償、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供量程穩定性，而且具有零位穩定性。Edge隨附INFICON傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節，另外還配有EtherCAT現場總線接口。
特點
易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
防腐陶瓷傳感器
卓越的長期信號穩定性
溫度補償
傳感器防污染保護
合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
應用
用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設備
數據存儲及顯示制造設備
工業真空設備
常規高精度壓力測量
技術規格（基于Torr的標準產品）
| 測量范圍 | 托 | 1000 | 500 ... 10 | 1 | 0.25 | 0.1 |
| FS (滿刻度) | 帕 | 133,322 | 66,661 ... | 1333 | 33.3 | 13 |
| 毫巴 | 1333 | 1,333 | 1.3 | 0.33 | 0.13 | |
| 66.7 ... 13.3 | ||||||
| 精度1) | 讀數% | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應 | ||||||
| 零點 | %FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | 讀數% / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 較大壓力 | 千帕(絕對) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 分辨率 | % FS | 0.003 | ||||
| 較低讀數 | % FS | 0.01 | ||||
| 建議的較低讀數 | % FS | 0.05 | ||||
| 建議的較低控制壓力 | % FS | 0.5 | ||||
| 溫度 | ||||||
| 傳感器 | ℃ | 25 | ||||
| 運行(環境) | ℃ | +5 ... +50 | ||||
| 在法蘭處烘烤 | ℃ | ≤110 | ||||
| 存儲 | ℃ | –20 ... +65 | ||||
| 電源電壓 | +14 ... +30伏(直流)或±15伏(±5%) | |||||
| 功耗 | ||||||
| 運行溫度 | W | < 3瓦 | ||||
| 輸出信號(模擬) | 伏(直流) | 0 ... +10 | ||||
| 響應時間2) | 毫秒 | 30 | 130 | 130/303) | ||
| 防護等級 | IP 40 | |||||
| 標準 | ||||||
| CE符合性 | EN 61000-6-2/-6-3、EN 61010和RoHS | |||||
| ETL認證 | UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 | |||||
| SEMI合規性 | SEMI S2 | |||||
| 電氣連接 | D-sub，15極，公頭 | |||||
| 設定值 | ||||||
| 設定點數量 | 2 (SP1、SP2) | |||||
| 繼電器觸點 | 伏(直流)/安(直流) | ≤30 / ≤0.5 | ||||
| 滯后 | % F.S. | 1 | ||||
| 診斷端口 | ||||||
| 協議 | RS232-C | |||||
| 讀 | 壓力、狀態、ID | |||||
| 設置 | 設定點、過濾器、調零、出廠設置復位、直流偏置 | |||||
| 暴露于真空的材料 | 氧化鋁陶瓷(AI2O3)、不銹鋼(AISI 316L4)) | |||||
| 內部容積 | ||||||
| 1/2英寸管 | 立方厘米(立方英寸) | 4.2 (0.26) | ||||
| DN 16 ISO-KF | 立方厘米(立 4.2 (0.26) 方英寸) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) | |||||
| DN 16 CF-R | ||||||
| 8 VCR? | ||||||
立方厘米(立
方英寸)
立方厘米(立
方英寸)
| 重量 | ||
| 1/2英寸管 | 克 | 837 |
| DN 16 ISO-KF | 克 | 852 |
| DN 16 CF-R | 克 | 875 |
| 8 VCR? | 克 | 897 |
1）在25°C環境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性，運行兩小時后無溫度效應
2）增加10 ... 90% FS
3）僅適用于壓力控制類型
4）18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
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