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            CDG100D2加熱式電容膜片真空計

            INFICON Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環境設計的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性,而且具有無與倫比的零位穩定性。Edge隨附INFICON傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節,另外還有EtherCAT現場總線接口可供選擇。創新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節約寶貴的工具空間。INFICON Edge是同類產品中較小的真空測量儀器。

            特點

            緊湊型,節省寶貴的工具空間

            易于集成,EtherCAT,各種滿刻度和法蘭,標配兩個設定點

            輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移

            診斷端口用于快速維修和維護

            兩年保修服務,加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

            卓越的信號穩定性和可重復性,即使是嚴苛的等離子應用,都無需長期執行重新校準

            合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

            應用

            CVD、蝕刻、PVD及其他半導體生產過程

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