CDG100Dhs加熱型電容膜片真空計
CDG100Dhs加熱型電容膜片真空計
INFICON Stripe高速電容膜片真空計是目前速度較快的高精度真空測量儀器。響應時間不到2毫秒,配備EtherCAT現場總線接口,開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性,而且具有零位穩定性。Stripe隨附INFICON的傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。INFICON Stripe采用創新加熱概念,提供涼爽的接觸表面和速度性能,可實現生產力提升。
特點
高生產力 — 響應時間不到2毫秒
靈活集成 — EtherCAT現場總線
使用壽命長 — 經驗證的陶瓷傳感器
無需重新校準 — 90ppm/年全方位穩定性
應用
原子層沉積
高速過程控制
PVD、CVD、蝕刻
一般高溫真空應用
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