二、真空設備制造過程中的檢漏

在設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對于制造完畢后無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊并重新檢漏，符合要求后才可以進行下一道工序。特別是對于大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，首先組焊完內層室壁并檢漏，確認沒有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏，然后才能包覆外層結構。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經焊后加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從而導致法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規范，對于提高真空設備和系統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經去油清洗并及時保護將有利于提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封面，應該具有保護措施，嚴防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏后被損壞而產生漏孔。

三、真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟

安裝調試階段是真空設備或系統檢漏工作的主體。若設備焊縫的氣密性已經通過加工階段的檢漏得以保證，那么在設備安裝、調試過程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的重點。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等重點可疑部位。若同時對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、復雜真空設備較好采用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接部位和焊縫進行一次檢漏，達到要求后再裝下一個部件。因為將所有部件全裝配完后再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。真空設備安裝調試過程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢設備的結構組成和裝配過程。掌握設備的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。

2、根據所規定的較大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經濟、快速、可靠等原則出發，正確選擇好檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的輔助設備后擬定切實可行的檢漏程序。

3、應對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛生條件進行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件。清潔處理后可通過真空烘干箱進行烘烤，進行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，而且也保護了檢漏儀器。

4、對所選用的檢漏方法和檢漏設備進行檢漏靈敏度的校準，并確定檢漏系統的檢漏時間。

5、若采用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應盡可能將被檢件抽到較高真空。

6、在允許的前提下，應盡可能優先應用較為經濟和現場具備條件的檢漏方法。

7、采用氦質譜檢漏設備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件時，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。

8、對已檢出的大漏孔及時進行修補堵塞后再進行小漏孔的檢漏。

9、對檢出并修補的漏孔進行一次復查以確保檢漏結果達到要求。

四、真空設備使用過程中的注意事項

在真空設備使用運行階段，時常出現設備氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空設備正常工作的主要原因。造成這種現象的原因包括：機械振動造成連接部位松動；經常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷、熱沖擊而發生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作介質的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他臟物堵塞的漏孔重新釋通；以及應力集中而造成裂紋等。

正確使用真空設備，應該將檢漏工作納入真空設備日常維護、管理規范之中，例如定期做靜態升壓檢測實驗。操作人員發現設備氣密性下降應及時解決，根據其設備使用情況和故障現象來分析泄漏原因，并采取適當的檢漏手段，檢出漏孔位置，及時修補。不要等到設備出現多種、多處泄漏，已經無法正常工作時再去檢漏維修。

另外，平時準備充足的密封備件，定期（而不是出現問題后）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、保證設備正常運行的主要措施。