（三）電阻真空計：電阻真空計又稱皮拉尼真空計，由電規管和測量儀器兩部分組成。電阻規管與被測真空系統相通。規管的外殼為玻璃殼或金屬殼，殼內裝有電阻絲。電阻絲常用電阻溢度系數較大的鎢、鉑、鎳等金屬絲。電阻絲溫度升高時，其電阻值增加。反之，溫度降低時，電阻值減小。電路系統保持電阻絲兩端的電壓恒定。如被測真空系統的氣體壓強降低時，氣體的導熱率相應減小，被氣體傳走的熱M減小，規管內電阻絲溫度升高，其電阻RP相應增加。反之，氣體壓強增高，RP相應減小。其測量電路為惠斯登電橋。規管的電阻絲為電橋的一臂，RZR4是固定電阻，R3是可變電阻。電橋平衡的條件是RP*R4=R2*R3。當RP變化時，電橋失去平衡，不平衡電流值由微安表讀出，即可測出真空度的變化。

（四）電離真空計：電離真空計是測量高真空的主要真空計。在低壓強氣體中，氣體分子被電離所產生的正離子數與氣體的壓強，即氣體分子的密度成正比。利用此原理制成的真空計叫電離真空計。按照產生離子方法的不同，利用由熱陰極發射電子，使氣體分子電離的原理制成的真空計叫熱陰極電離真空計。利用在強電場和強電磁作用下，由冷陰極放電作用使氣體分子電離的原理制成的真空計，叫冷陰極電離真空計。

現將熱陰極電離真空計的工作原理簡介如下，熱陰極電離真空計，由熱陰極電離規管和測量儀器組成。測量儀器由規管工作電源，發射電流穩壓裝置和離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空系統相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極、柵極和收集極。收集極電位，相對于陰極為負電位，柵極電位，相對于陰極為正電位。當電離規管通電加熱后，陰極發射出電子。此電子在達到柵極過程中，同氣體分子碰撞發生電離，產生正離子和電子。當發射電流一定時，正離子的數目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經測量電路放大就可由指示電表讀出被測系統真空度。

（五）復合真空計：一般低真空測量和高真空測量不能用一種真空計完成，因而采用復合真空計。目前，應用較廣的電離與熱偶式復合真空計，復合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，分別插在被測真空系統上。通過復合真空計上的旋鈕，分別給兩個規管加熱，并選擇使用。