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真空：什么是真空？
真空—從字面上解釋，就是一定空間內的空氣全部抽空，然而，至今為止，沒有人能成功地做到這一點。根據科學試驗得出結論，較高真空也就在10-14torr范圍內。這個結論是由美國紐約的一家名叫IBM Thomas J.Watson的研究中心，于1976年10月，在一個溫度降至華氏負269度的系統中得出的。甚至在如此低的壓力環境下，每平方厘米仍然存在成千上萬的分子，同時，也測量出空氣的存在。因此，真空的定義是指低于大氣壓的稀薄氣體狀態，通常用760mmHg或1013mbar表示。
1958年美國真空協會定義：如果一個立方厘米內的氣體分子個數少于2.5X1019。該狀態稱之為“真空”。
一個在給定的空間內的氣體狀態低于一個大氣壓就稱之為“真空”
在真空技術里，真空系針對大氣而言，一特定空間內部之部份物質被排出，使其壓力小于一個標準大氣壓，則我們通稱此空間為真空或真空狀態
真空范圍的劃分
現代許多高精密度的產品在制造過程中的某些階段必需使用程度不一的真空才能制造，如半導體、硬盤、鏡片。在實驗室和工廠中制造真空的方法是利用泵在密閉的空間中抽出空氣以達到某種程度的真空。在真空技術中按照壓力的高低我們可以區分為：
粗略真空（Rough Vacuum） 760 ~ 10 Torr
中度真空（Medium Vacuum） 10 ~ Torr
高真空 （High Vacuum）~ Torr
超高真空（Ultra-High Vacuum） Torr以下
真空的單位
國際制單位：N/㎡ 1N/㎡=1Pa=0.01mbar
其它單位：mbar 1mbar=100Pa
Torr 1Torr=1.33mbar
mmHG 1mmHG=1Torr=1.33mbr
Atmosphere 1atm=1013mbar
PSI 1psi=0.0145mbar
% Vacuum 1%Vacuum=10mbar
務必明確所用單位！有多種單位都在使用！
真空泵
真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按其工作原理，基本上分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
由于真空應用部門所涉及的工作壓強范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用，只有根據不同的工作壓強范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。
1）真空泵的抽氣速率（體積流率）——當泵裝有標準實驗罩并按規定條件工作時，從實驗罩流過的氣體流量與在實驗罩上指定位置測得的平衡壓強之比。S=Q/p.(m3/h,l/s)P1V1/T1=P2V2/T2(設T1=T2,則P1/P2=V2/V1)
2）真空泵的抽氣量——流經泵入口的氣體流量。（Pa.l/s）
3）真空泵的極限壓強——泵裝有標準實驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體，正常工作的情況下趨向穩定的低壓強。抽速為零時的壓強。
真空泵的用途分類
根據真空泵的性能，在各種應用的真空系統中它可承擔如下一些工作
主泵——在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的泵。
粗抽泵——從大氣壓開始，降低系統的壓強達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。
前級泵——用以使另一個泵的前級壓強維持在其較高許可的前級壓強以下的真空泵，前級泵也可以做粗抽泵使用。
維持泵——在真空系統中，當抽氣量很小時，不能有效的利用主要前級泵，為此，在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
增壓泵——裝于高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級泵的容量要求的真空泵。
真空泵的抽氣范圍
真空泵——旋片泵
1.旋片泵：
2.旋片泵的抽氣原理
羅茨泵
1.圖片
2.原理
3.羅茨泵的類型
3.1帶旁通閥：
3.2直排大氣型
3.3電機真空密封
4.羅茨泵使用維修保養中的注意點
1)不能大氣啟動
2)加油量
3)等等
分子泵
1.圖片
2.原理
3.分子泵使用中的注意點
3.1分子泵在正常運轉時絕對不能拔下電纜插頭！
3.2要有前級泵
螺桿泵
1.圖片
2.原理
3.注意點
3.1無油
3.2吹掃
其它真空泵
1.擴散泵
2.離子泵
3.分子篩泵
4.鈦泵
5.低溫泵
6.水環泵
7.往復泵
真空檢漏
真空檢漏就是檢測真空系統的漏氣部位及其大小的過程。
漏氣對鍍膜線生產的影響
1.工藝參數難以調整
2.工藝重復性不好。
3.理化指標，超標。
4.影響均勻性。
5.可鋼產品，鋼化出問題。
6.脫膜。
關于檢漏的相關概念
1.漏率及其單位：PaL/S
2.較大容許漏率
真空系統漏氣是絕對的，不漏氣是相對的。
3.氦氣漏率和空氣漏率
空氣的分子量約為29，而氦氣的分子量約為4，經過計算得出：氦氣在穿過上述理想漏孔時，其流速應為空氣流速的2.7倍。這就意味著，空氣的較小可測漏氣率是氦氣的較小可測漏氣率的1/2.7。
我們可以這樣講：在氦氣條件下所測量的漏氣率是相對保守的數值，空氣流率不會大于這個數值。
檢漏的方法
1.氣泡檢漏：將空氣壓入被檢容器，然后將其浸入水中或者對其可凝表面涂上肥皂液，觀察氣泡確定漏孔位置。
2.充壓檢漏法：在被檢件內部充入一定壓力的示漏物質，如果被檢件上有漏孔，示漏物質便從漏孔漏出。
3.氦質譜檢漏儀
4.氨檢漏法
5.高頻火花檢漏器
6.用于質譜分析的各種質譜計
7.噴吹法檢漏
噴吹法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口，用噴槍連續向可疑的漏孔噴射示蹤氣體，示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。
8.吸入法檢漏
吸入法檢漏與噴吹法檢漏相反，吸槍接在檢漏儀的檢測口，而被檢件充入規定壓力的示蹤氣體，漏孔泄漏出來氦氣被吸槍吸入檢漏儀被檢測。
9.背壓法檢漏
背壓法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中，然后連至檢漏儀將其抽空，示蹤氣體通過漏孔泄漏出來，經檢漏儀檢測總泄漏量。
氦檢漏
1.原理：
氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得普遍的檢漏儀器。
氦質譜儀原理圖
原理說明
在質譜室內有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場、擋板及出口縫
隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；第 一級放大靜電計管和冷陰極電離規。
氦檢漏工作
1.開機
2.氣體準備
3.氦氣的壓力
4.靈敏度
5.校準
6.開始檢漏
7.示漏
8.反應時間
9.清除時間
10.發現漏點
11.確認漏點
檢漏實操過程的注意點
1.氦氣流量的大小
2.檢漏點隔離原則
3.檢漏次序：
采用噴吹法檢漏時，應遵守從上至下和從近至遠的原則。
4.確定漏點的耐心
5.注意避免氦氣的累積
6.檢漏時鍍膜線較好處于工作狀態
旋轉開、傳動開、加熱開
換靶后鍍膜線的檢漏步驟
一、陰極
1.氦檢。陰極不通水，進行氦氣檢漏，（含氦氣加壓檢漏）。
2.氣檢
3.水檢
二、鍍膜線
1.換靶動過的地方。（蓋板、分子泵管道接口、轉動部位）
2.整體氦檢（傳動開啟）
真空表對我們檢漏的提示
1.鍍膜線隔艙上的IG表的提示。
2.管道上PG表的提示。
3.旋轉陰極PG表的提示。（外漏、內漏）
4.中縫PG表的提示（外漏、內漏）
文章來源：鍍膜行業交流
